用於半導(dǎo)體/FPD工藝中超純水管理的高靈敏度二氧化矽監(jiān)測儀
SLIA-300型
在超純水二氧化矽分析方面擁有良好的記錄！
緊湊/高靈敏度的新性能。
超純水中二氧化矽的濃度對半導(dǎo)體/FPD工藝中的產(chǎn)品精度和良率有重大影響。可靠地滿足 1μg/L （1ppb） 的測量要求。通過緊湊的桌面機身設(shè)計，實現(xiàn)了整個測量範(fàn)圍內(nèi)的高靈敏度測量。憑藉出色的基本性能和高靈敏度，包括高速回應(yīng)和自診斷能力，它有力地支持半導(dǎo)體/FPD製造中的超純水工藝。
靈敏度高，可重複性好
獨特的新開發(fā)池實現(xiàn)了與低濃度相對應(yīng)的高靈敏度。5 分鐘的快速測量保證了 0 至 2 μg/L 範(fàn)圍內(nèi)滿量程的 ±2% 的重複性。

緊湊的桌面設(shè)計
新開發(fā)的電池實現(xiàn)了GM性的小型化設(shè)計。這種桌面設(shè)計可用於各種安裝條件，包括狹小的空間。它也可以用作可攜式設(shè)備。

試劑消耗量減少到 1/5
採用改進(jìn)的反應(yīng)池，試劑消耗量已減少到傳統(tǒng)試劑的 1/5。試劑的運行成本可以顯著降低。

z多可測量 6 個點（可選）
可自由設(shè)置1至6個測量點。單個單元可用於支持多點測量。

自診斷功能，可監(jiān)測操作異常
自診斷功能可檢測樣品和試劑進(jìn)樣、校準(zhǔn)錯誤、電池溫度監(jiān)測、光源異常等操作中的異常情況。如果出現(xiàn)錯誤，則使用警報指示燈和文本顯示發(fā)送消息以通知用戶。

採用了無需更換的免維護、長效光源
使用光強穩(wěn)定、壽命長的單色半導(dǎo)體光源。它可以用作半永久性光源。
型 SLIA-300型
測量方法 鉬藍(lán)吸收測定法
測量範(fàn)圍 0 至 2 / 0 至 20 μg/L，或 0 至 5 / 0 至 50 μg/L（請在下訂單時注明）
測量時間 5 分鐘
測量點 1 至 6 分（下單時請注明）
再現(xiàn)性 滿量程的 ±2%
校準(zhǔn)功能 標(biāo)準(zhǔn)流體校準(zhǔn)
補償功能 空白補償
Metage 線補償（特定於每條線）
使用的試劑 ·試劑A：硫酸+鉬酸
銨·試劑B：草酸
·試劑C：L（+）-抗